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【新能源技術(shù)】PECVD詳盡資料整理

本文檔由 精品庫 分享于2012-10-22 10:42

為了使化學(xué)反應(yīng)能在較低的溫度下進行，利用了等離子體的活性來促進反應(yīng)，因而這種CVD稱為等離子體增強化學(xué)氣相沉積(PECVD).
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研究報告  —  新能源
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pecvd boe chamber susceptor loadlock team
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